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原子力显微镜(AFM)是购买浙江大学光电研究所研制的，已经使用一年多，中间出现些问题，也都解决了，现在做个总结： 1、 设备 信号来源：激光 信号接收：PSD（Position Sensitive Detector）全称为位置传感检测器，输出的是模拟信号，线性度好、响应快。 探针：在镀金的小矩形上，每头有一大一小的等腰三角形，探针三角形顶端，垂直于三角形平面，肉眼只能看到三角形，看不到探针，一个矩形上有四个探针可以使用。 压电陶瓷：样品在测试过程中，三维方向的运动是通过三根压电陶瓷的位移产生 信号放大、反馈、数据采集、显示 2、 过程 1、把用探针的小矩形用双面胶贴好，矩形伸出的长度一般为小于或接近长边的一半，用四个控制螺钉调节激光器，使激光照在三角形的边上，直到产生衍射条纹，并且衍射条纹在PSD左侧，不能在PSD光敏面上，倾斜方向 \ ，光斑中心居中，激光照在三角形边上达到衍射条件时将产生强的反射光； 2、用双面胶把待测样品粘在样品台上，双面胶要贴平，样品要测得地方不能太靠样品台中心，因为在测试时探针接触的位置不是在样品台的中心，然后把样品台固定在三根压电陶瓷构成的支杆上，适当转动样品台，使待测样品的中心与探针的位置相对； 3、用粗调使试样向探针运动，此时为了观察可把激光关了，当接近至1~ 3、出现的问题和解决方法 3.1 Z轴反馈信号不稳定 当在调节的时候Z轴反馈信号不稳定，而且跳动很大时，就不能进行测试，产生这样的情况主要可能有两点：1、表面状态特殊，适当旋转样品台，从新选择测试位置；2、探针松动，因为探针是用双面胶粘的，在测试过程中，来回运动将是探针松动，这时由于探针的不稳定跳动将使反馈信号不稳定； 3.2 光斑不对 对光斑的主要要求有： 1）衍射条纹要清楚，这要通过调节四个旋钮达到良好的衍射； 2）光斑要在PSD的左边，如果不对可能是由于针粘的不平，重新调整针的位置，将针贴平； 3）光斑的中心位置不对，这可能针固定的位置不对，适当旋转粘贴探针的铁圈，针的位置中间和伸出的长度为长边的一半或小于一半； 4）如果在调节距离的时候光斑不仅出现左右运动还有明显的上下运动，可能是由于支撑探针的三角形边断裂，在达到原子力范围时探针受力不均，此时可更换探针。 3.3 反馈信号弱 首先保证打开高压电源，如果反馈信号弱将导致图像不清甚至不能测试 1）电池电量不足，激光灯强度变弱； 2）确认反馈旋钮1～2圈，PSD旋钮2～4圈，在此前提下如果反馈信号弱可适当调大反馈旋钮； 3）光斑应在PSD的左侧接近光敏面而不应该在光敏面上； 4）激光器出现问题，更换激光器； 3.4 图像问题 首先要有一块标准样品，在出现问题的时候测试标准样品，确认设备的问题： 1）探针上被粘上东西，通过快速扫描，把探针上的东西甩掉； 2）探针长期使用，磨损了，更换探针； 3）测试过程中Z方向超出范围，可能是样品贴的不平或样品本身起伏大，这时重贴样品或者把样品台旋转位置； |
