LD-16多弧离子镀膜设备

Ⅰ 设备构成

2          设备构成

a.真空室包括：桶体，底座，转架，16个新型阴极电弧离子源。

b.真空系统包括：扩散泵，罗茨泵，机械泵，高阀和真空管道。

c.系统控制柜包括：五层电器控制机箱和电源。

d.电源柜包括：16台弧电源及一台轰偏电源。

2         设备特点

LD-16型离子镀膜机采用了新研制的阴极电弧离子源，这种新型弧源在工作时能有效减少大颗粒产生的数量，降低颗粒的尺寸，同时工作稳定，可在低电流时长时间稳定工作。所以镀出的膜层具有与基体结合力好，膜层表面光洁，显微硬度高的优点。膜层颗粒度电子显微镜对比试验显示：新型弧源镀膜质量明显优于传统弧源。

Ⅱ 设备配置及参数

1         真空室部分

a.镀膜室直径：1450mm

b.镀膜室高度：2400mm

c.镀膜室材质：304不锈钢

d.镀膜室壁厚：10mm

e.镀膜室顶板及底板厚度：20-22mm

f.镀膜室门框及发兰厚度：25mm

g.镀膜室为上开门结构

h.工件挂具转架：行星式公自转

i.转架材质：304不锈钢

j.挂具杆：6-8根

k.转架转速：最高0-5转/分钟

l.转速控制：西门子变频调速器

m.壳体，水套，法兰，观察窗等材质：304

n.真空室分布水冷带

o.镀膜室上开门，装起吊环；内壁抛光，不锈钢衬板。

p.加热：6根不锈钢加热器（2KW/根）安装于炉底中心，三根安装于炉内侧壁。

q.镀膜室内两侧各安装一根测温热电偶，测温范围：0-500℃。

r.镀膜室门内两侧各有一个进气管

s.镀膜室底座：碳钢支架及围板，锁扣喷漆。

t.镀膜室观察窗：前后各一

u.冷却水路：镀膜室侧壁，门，水冷挡板，弧源法兰等均有，4进4出管路备用。

1         真空机组部分

a.扩散泵：KT-800，装有加油孔及泄油孔。

b.罗茨泵：ZJP-600

c.机械泵：ZX-70旋片泵两台，ZX-30维持泵1台。

d.高阀附带气动挡板阀

e.抽气口管道安装节流阀，带气动控制。

f.冷阱，真空管路及各种阀门。

1         电器控制部分

a.真空显示：真空计及真空规管

b.真空系统及转架控制：控制真空系统的泵及阀门

c.流量控制：控制及显示气体流量

d.温度控制：控制镀膜室加热温度

e.偏压控制：轰击偏压电源

f.弧源控制：16路弧电源显示

g．加热电源

h．弧电源控制柜

2         设备参数

a.极限真空度:  2×10^-3 Pa

b.漏率要求：真空抽至6.0╳10^-3 Pa后，关闭高阀，真空度降至1.0╳10^-1 Pa时间不少于15分钟。

c.抽速：<30分钟（从大气—7╳10^-3 Pa）

d.脉冲偏压电源: 轰击时1000V，15A

e.镀膜时:  150V, 40A

f．小弧源直径：100mm

g.小弧源数量：16个

h．小弧源电流(钛靶)，带自动引弧装置：50-100A

i．烘烤电源功率:18KW

j.三路供气系统: 两支质量流量计供气

k.工件转速（rpm）:公转， 1—2

l.电控特点:手动操作

m.随机配带备件：进气管，电离规管2支，全部密封圈一套。

Ⅲ 价格，工期及售后服务

LD-16型多弧离子镀膜设备

整套售价：70万元（不含税及运费）

制造工期：90天

售后服务：随机安装调试和培训，提供部分膜层镀膜工艺。

          主机及电器部分保修一年，整机终身维修。

按成本提供易损件及消耗材料。